
产品原理
在粉体腔室内引入低压等离子放电技术,将腔室内的气体电离,形成活性基团粒子。粒子(电子或正负离子)与粉体表面碰撞,提升粉体表面缺陷浓度,达到刻蚀、掺杂、接枝、清洗等效果 等离子与ALD结合,即等离子增强原子层沉积,是一种能量增强的原子层沉积方式,采用高活性的等离子体作为前驱体,一般是利用等离子体替代普通的反应剂,与前驱体A反应
产品优势
适用领域
适用材料

粉体材料

在粉体腔室内引入低压等离子放电技术,将腔室内的气体电离,形成活性基团粒子。粒子(电子或正负离子)与粉体表面碰撞,提升粉体表面缺陷浓度,达到刻蚀、掺杂、接枝、清洗等效果 等离子与ALD结合,即等离子增强原子层沉积,是一种能量增强的原子层沉积方式,采用高活性的等离子体作为前驱体,一般是利用等离子体替代普通的反应剂,与前驱体A反应
